氬氣的化學(xué)性質(zhì)
氬位于周期表中的零族,原子的最外層有八個(gè)電子,形成穩(wěn)定結(jié)構(gòu),化學(xué)性質(zhì)極不活潑,在通常情況下,氬氣不與其它物質(zhì)進(jìn)行反應(yīng)。但在特殊條件下,可形成水合物。
氬氣的應(yīng)用及用途
高純氬用于照明技術(shù),填充日光燈、光電管、白熾燈、照明管及飛機(jī)制造業(yè);氬用作電弧焊接不銹鋼、鎂、鋁和其它合金的保護(hù)氣體;氬用于鋯、鈦、鉭、鈹、鉿、鈮、鈾、釷等稀有金屬的提煉和焊接技術(shù),液氬用于焊接和冶金等。
在半導(dǎo)體材料和器件生產(chǎn),尤其是制造大規(guī)模集成電路,高純氬氣的應(yīng)用占有重要地位。氬氣主要作為稀釋氣、運(yùn)載氣、保護(hù)氣、濺射氣和激光混合氣。也用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。用作標(biāo)準(zhǔn)氣、平衡氣、零點(diǎn)氣等。